अर्धचालक (एफएबी) स्वच्छ कक्ष में सापेक्ष आर्द्रता का लक्ष्य मान

अर्धचालक (एफएबी) स्वच्छ कक्ष में सापेक्ष आर्द्रता का लक्ष्य मान लगभग 30 से 50% होता है, जिससे त्रुटि की एक संकीर्ण सीमा ±1% होती है, जैसे कि लिथोग्राफी क्षेत्र में - या सुदूर पराबैंगनी प्रसंस्करण (डीयूवी) क्षेत्र में इससे भी कम - जबकि अन्य स्थानों पर इसे ±5% तक शिथिल किया जा सकता है।
क्योंकि सापेक्ष आर्द्रता में कई कारक होते हैं जो स्वच्छ कमरों के समग्र प्रदर्शन को कम कर सकते हैं, जिनमें शामिल हैं:
1. जीवाणु वृद्धि;
2. कर्मचारियों के लिए कमरे के तापमान की आरामदायक सीमा;
3. इलेक्ट्रोस्टैटिक चार्ज प्रकट होता है;
4. धातु संक्षारण;
5. जल वाष्प संघनन;
6. लिथोग्राफी का ह्रास;
7. जल अवशोषण.

बैक्टीरिया और अन्य जैविक संदूषक (फफूंदी, वायरस, कवक, कण) 60% से अधिक सापेक्ष आर्द्रता वाले वातावरण में पनप सकते हैं। कुछ जीवाणु समुदाय 30% से अधिक सापेक्ष आर्द्रता पर भी विकसित हो सकते हैं। कंपनी का मानना है कि आर्द्रता को 40% से 60% के बीच नियंत्रित किया जाना चाहिए, जिससे बैक्टीरिया और श्वसन संक्रमण के प्रभाव को कम किया जा सके।

40% से 60% की सापेक्ष आर्द्रता भी मानव आराम के लिए एक मध्यम सीमा है। बहुत अधिक आर्द्रता लोगों को घुटन का एहसास करा सकती है, जबकि 30% से कम आर्द्रता लोगों को शुष्क, फटी त्वचा, सांस लेने में तकलीफ और भावनात्मक रूप से दुखी महसूस करा सकती है।

उच्च आर्द्रता वास्तव में क्लीनरूम की सतह पर इलेक्ट्रोस्टैटिक आवेशों के संचय को कम करती है - जो एक वांछित परिणाम है। कम आर्द्रता आवेश संचय के लिए आदर्श होती है और इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज का एक संभावित हानिकारक स्रोत हो सकती है। जब सापेक्ष आर्द्रता 50% से अधिक हो जाती है, तो इलेक्ट्रोस्टैटिक आवेश तेज़ी से क्षय होने लगते हैं, लेकिन जब सापेक्ष आर्द्रता 30% से कम होती है, तो वे किसी इंसुलेटर या बिना ग्राउंड वाली सतह पर लंबे समय तक बने रह सकते हैं।

35% से 40% के बीच सापेक्ष आर्द्रता को एक संतोषजनक समझौते के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है, और अर्धचालक स्वच्छ कमरे आमतौर पर इलेक्ट्रोस्टैटिक चार्ज के संचय को सीमित करने के लिए अतिरिक्त नियंत्रण का उपयोग करते हैं।

सापेक्ष आर्द्रता बढ़ने के साथ संक्षारण प्रक्रियाओं सहित कई रासायनिक प्रतिक्रियाओं की गति बढ़ जाएगी। स्वच्छ कक्ष के आसपास की हवा के संपर्क में आने वाली सभी सतहें तेज़ होती हैं।