Az Egyesült Államokban 2001 novemberének végéig a 209E (FED-STD-209E) szövetségi szabványt használták a tiszta helyiségekre vonatkozó követelmények meghatározására. 2001. november 29-én ezeket a szabványokat felváltotta az ISO 14644-1 specifikáció kiadása. A gyártáshoz vagy tudományos kutatáshoz használt tiszta helyiség jellemzően egy szabályozott környezet, amelyben alacsony a szennyező anyagok, például por, levegőben lévő mikrobák, aeroszol részecskék és kémiai gőzök szintje. Pontosabban, a tiszta helyiség szabályozott szennyezettségi szinttel rendelkezik, amelyet a meghatározott részecskeméret mellett a részecskék száma köbméterenként határoz meg. Egy tipikus városi környezetben a kültéri levegő köbméterenként 35 millió, 0,5 mikron átmérőjű vagy nagyobb részecskét tartalmaz, ami a tiszta helyiség szabvány legalacsonyabb szintjén lévő ISO 9 tiszta helyiségnek felel meg. A tiszta helyiségeket a levegő tisztasága szerint osztályozzák. Az Egyesült Államok 209-es szövetségi szabványában (A-tól D-ig) a 0,5 mm-es vagy annál nagyobb részecskék számát mérik 1 köbláb levegőben, és ezt a számot használják a tiszta helyiségek osztályozására. Ezt a metrikus nómenklatúrát a szabvány legújabb 209E verziója is elfogadja. Kína a 209E szövetségi szabványt használja. Az újabb szabvány a Nemzetközi Szabványügyi Szervezet TC 209 szabványa. Mindkét szabvány a laboratóriumi levegőben lévő részecskék száma alapján osztályozza a tiszta helyiségeket. Az FS 209E és az ISO 14644-1 tiszta helyiség osztályozási szabványok meghatározott részecskeszám-méréseket és számításokat írnak elő a tiszta helyiség vagy tiszta terület tisztasági szintjének osztályozásához. Az Egyesült Királyságban a British 5295 szabványt használják a tiszta helyiségek osztályozására. Ezt a szabványt hamarosan felváltja a BS EN ISO 14644-1 szabvány. A tiszta helyiségeket a levegő térfogatára vonatkoztatott megengedett részecskék száma és mérete alapján osztályozzák. A nagy számok, mint például a „100-as osztály” vagy az „1000-es osztály”, a FED_STD209E-re utalnak, és a levegő köblábjában megengedett 0,5 mm-es vagy annál nagyobb részecskék számát jelentik.

Közzététel ideje: 2024. január 18.