अर्धचालक (FAB) सफा कोठामा सापेक्षिक आर्द्रताको लक्ष्य मान

अर्धचालक (FAB) सफा कोठामा सापेक्षिक आर्द्रताको लक्ष्य मान लगभग ३० देखि ५०% हुन्छ, जसले गर्दा लिथोग्राफी क्षेत्रमा जस्तै ±१% को त्रुटिको मार्जिन कम हुन्छ - वा टाढाको पराबैंगनी प्रशोधन (DUV) क्षेत्रमा अझ कम - जबकि अन्यत्र यसलाई ±५% मा खुकुलो पार्न सकिन्छ।
किनभने सापेक्षिक आर्द्रतामा सफा कोठाहरूको समग्र कार्यसम्पादन घटाउन सक्ने धेरै कारकहरू छन्, जसमा समावेश छन्:
१. ब्याक्टेरियाको वृद्धि;
२. कर्मचारीहरूको लागि कोठाको तापक्रमको आराम दायरा;
३. इलेक्ट्रोस्टेटिक चार्ज देखा पर्दछ;
४. धातुको क्षरण;
५. पानीको बाष्प संक्षेपण;
६. लिथोग्राफीको क्षयीकरण;
७. पानी अवशोषण।

ब्याक्टेरिया र अन्य जैविक प्रदूषकहरू (ढाँचा, भाइरस, फंगी, माइट) ६०% भन्दा बढी सापेक्षिक आर्द्रता भएको वातावरणमा फस्टाउन सक्छन्। केही ब्याक्टेरिया समुदायहरू ३०% भन्दा बढी सापेक्षिक आर्द्रतामा बढ्न सक्छन्। कम्पनीको विश्वास छ कि आर्द्रता ४०% देखि ६०% को दायरामा नियन्त्रण गरिनुपर्छ, जसले ब्याक्टेरिया र श्वासप्रश्वास संक्रमणको प्रभावलाई कम गर्न सक्छ।

४०% देखि ६०% सम्मको सापेक्षिक आर्द्रता पनि मानव आरामको लागि मध्यम दायरा हो। धेरै आर्द्रताले मानिसहरूलाई थकाइ लाग्ने महसुस गराउन सक्छ, जबकि ३०% भन्दा कम आर्द्रताले मानिसहरूलाई सुख्खा, छाला फुट्ने, श्वासप्रश्वासमा असुविधा र भावनात्मक दुखी महसुस गराउन सक्छ।

उच्च आर्द्रताले वास्तवमा सफा कोठाको सतहमा इलेक्ट्रोस्टेटिक चार्जहरूको संचयलाई कम गर्छ - यो एक इच्छित परिणाम हो। कम आर्द्रता चार्ज संचयको लागि आदर्श हो र इलेक्ट्रोस्टेटिक डिस्चार्जको सम्भावित रूपमा हानिकारक स्रोत हो। जब सापेक्षिक आर्द्रता ५०% भन्दा बढी हुन्छ, इलेक्ट्रोस्टेटिक चार्जहरू द्रुत रूपमा नष्ट हुन थाल्छन्, तर जब सापेक्षिक आर्द्रता ३०% भन्दा कम हुन्छ, तिनीहरू इन्सुलेटर वा जमिन नभएको सतहमा लामो समयसम्म रहन सक्छन्।

३५% र ४०% बीचको सापेक्षिक आर्द्रतालाई सन्तोषजनक सम्झौताको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, र अर्धचालक सफा कोठाहरूले सामान्यतया इलेक्ट्रोस्टेटिक चार्जहरूको संचयलाई सीमित गर्न अतिरिक्त नियन्त्रणहरू प्रयोग गर्छन्।

सापेक्षिक आर्द्रता बढ्दै जाँदा क्षरण प्रक्रियाहरू सहित धेरै रासायनिक प्रतिक्रियाहरूको गति बढ्नेछ। सफा कोठा वरपरको हावामा पर्दा सबै सतहहरू छिटो हुन्छन्।