Стандартизация чистых помещений

В Соединенных Штатах до конца ноября 2001 года для определения требований к чистым помещениям использовался федеральный стандарт 209E (FED-STD-209E). 29 ноября 2001 года эти стандарты были заменены публикацией спецификации ISO 14644-1. Как правило, чистое помещение, используемое для производства или научных исследований, представляет собой контролируемую среду с низким уровнем загрязнений, таких как пыль, микробы в воздухе, аэрозольные частицы и пары химических веществ. Если быть точным, чистое помещение имеет контролируемый уровень загрязнения, который определяется количеством частиц на кубический метр при определенном размере частиц. В типичной городской среде наружный воздух содержит 35 миллионов частиц на кубический метр диаметром 0,5 микрона или более, что соответствует чистому помещению ISO 9, самому низкому уровню стандарта чистых помещений. Чистые помещения классифицируются в зависимости от чистоты воздуха. В федеральном стандарте США 209 (от A до D) количество частиц, равных или более 0,5 мм, измеряется в 1 кубическом футе воздуха, и это количество используется для классификации чистых помещений. Эта метрическая номенклатура также принята последней версией стандарта 209E. Китай использует федеральный стандарт 209E. Более новым стандартом является TC 209 Международной организации по стандартизации. Оба стандарта классифицируют чистые помещения на основе количества частиц в лабораторном воздухе. Стандарты классификации чистых помещений FS 209E и ISO 14644-1 требуют конкретных измерений и расчетов количества частиц для классификации уровня чистоты чистой комнаты или чистой зоны. В Соединенном Королевстве для классификации чистых помещений используется британский стандарт 5295. Этот стандарт скоро будет заменен BS EN ISO 14644-1. Чистые помещения классифицируются в соответствии с количеством и размером частиц, допустимых на объем воздуха. Большие числа, такие как «Класс 100» или «Класс 1000», относятся к стандарту FED_STD209E и обозначают допустимое количество частиц размером 0,5 мм или более на кубический фут воздуха.