ความต้องการความเร็วลมในห้องคลีนรูมและการเปลี่ยนแปลงของอากาศ

ปริมาณการระบายอากาศที่เพียงพอจะเจือจางและกำจัดอากาศเสียภายในอาคารตามความต้องการความสะอาดที่แตกต่างกันเมื่อห้องสะอาดหากความสูงสุทธิสูงขึ้น จำนวนการเปลี่ยนถ่ายอากาศจะเพิ่มขึ้นอย่างเหมาะสม ในบรรดาปริมาณการระบายอากาศทั้งหมด ปริมาณการระบายอากาศของห้องคลีนรูม 1 ล้านห้องจะพิจารณาตามระบบฟอกอากาศประสิทธิภาพสูง [7] และส่วนที่เหลือจะพิจารณาตามระบบฟอกอากาศประสิทธิภาพสูง เมื่อติดตั้งแผ่นกรอง HEPA สำหรับห้องคลีนรูมขนาด 100,000 คลาสไว้ที่ส่วนกลางในห้องเครื่องหรือปลายระบบ จำนวนการเปลี่ยนถ่ายอากาศจะเพิ่มขึ้นอย่างเหมาะสม 10-20%

สำหรับค่าปริมาณการระบายอากาศที่แนะนำข้างต้น ผู้เขียนเชื่อว่าความเร็วลมผ่านส่วนห้องของทิศทางเดียวห้องคลีนรูมแบบไหลต่ำ และห้องสะอาดแบบปั่นป่วนเป็นค่าที่แนะนำพร้อมปัจจัยความปลอดภัยที่เต็มกว่า อัตราการไหลแบบทิศทางเดียวในแนวตั้ง ≥0.25 ม./วินาที อัตราการไหลแบบทิศทางเดียวในแนวนอน ≥0.35 ม./วินาที การตรวจจับความสะอาดในสภาวะว่างหรือสภาวะคงที่ แม้ว่าจะสามารถตอบสนองความต้องการได้ แต่ความสามารถในการป้องกันมลพิษต่ำ เมื่อเข้าสู่สภาวะการทำงานภายในอาคาร ความสะอาดอาจไม่เป็นไปตามข้อกำหนด ตัวอย่างเหล่านี้ไม่ได้แยกออกจากกัน ในขณะเดียวกัน ชุดพัดลมระบายอากาศของจีนยังไม่เหมาะสมสำหรับระบบฟอกอากาศ ผู้ออกแบบทั่วไปมักคำนวณความต้านทานอากาศของระบบไม่ถูกต้อง หรือไม่ใส่ใจว่าพัดลมที่เลือกอยู่ในเส้นโค้งลักษณะเฉพาะของจุดทำงานที่เหมาะสมหรือไม่ ทำให้ระบบเริ่มทำงานได้ไม่นาน ปริมาณอากาศหรือความเร็วลมอาจไม่ถึงค่าที่ออกแบบไว้ มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐอเมริกา (FS209A~B) ได้กำหนดไว้ก่อนวันที่ 27 ตุลาคม พ.ศ. 2530 ดังนี้: ความเร็วลมของห้องสะอาดแบบทิศทางเดียวผ่านส่วนห้องสะอาดมักจะคงที่ที่ 9 ฟุต/นาที (0.45 เมตร/วินาที) และภายใต้เงื่อนไขที่ไม่มีการรบกวนทั่วทั้งห้อง ความสม่ำเสมอของความเร็วลมจะอยู่ภายใน ±20% การลดลงของความเร็วลมอย่างมีนัยสำคัญจะเพิ่มโอกาสในการเกิดการปนเปื้อนระหว่างเวลาทำความสะอาดตัวเองและตำแหน่งการทำงาน (หลังจากการประกาศใช้ FS209C ในเดือนตุลาคม พ.ศ. 2530 พารามิเตอร์อื่นๆ นอกเหนือจากความเข้มข้นของฝุ่นไม่ได้ระบุไว้)

ด้วยเหตุนี้ ผู้เขียนจึงเห็นว่าควรเพิ่มค่าความเร็วการไหลแบบทิศทางเดียวตามค่าการออกแบบภายในปัจจุบันให้เหมาะสม ซึ่งหน่วยงานของเราในโครงการจริงจะทำเช่นนั้น ซึ่งจะทำให้ได้ผลดีกว่า ห้องสะอาดแบบปั่นป่วนเป็นค่าที่แนะนำและมีปัจจัยด้านความปลอดภัยที่สูงกว่า แต่นักออกแบบหลายคนยังไม่มั่นใจว่าเมื่อทำการออกแบบเฉพาะ ปริมาณการระบายอากาศในห้องสะอาดที่ระดับ 100,000 จะเพิ่มขึ้นเป็น 20-25 เท่าต่อชั่วโมง ระดับ 10,000 จะเพิ่มขึ้นเป็น 30-40 เท่าต่อชั่วโมง และระดับ 1,000 จะเพิ่มขึ้นเป็น 60-70 เท่าต่อชั่วโมง ซึ่งไม่เพียงแต่เพิ่มขีดความสามารถของอุปกรณ์และเพิ่มการลงทุนเริ่มต้นเท่านั้น แต่ยังเพิ่มต้นทุนการบำรุงรักษาและการจัดการในอนาคต ซึ่งไม่จำเป็นต้องทำเช่นนั้น ในการเตรียมมาตรการทางเทคนิคสำหรับการฟอกอากาศของจีน [7] ได้มีการตรวจสอบและวัดค่าห้องคลีนรูมภายในบ้านมากกว่า 100 ห้อง และยังมีการทดสอบห้องคลีนรูมหลายห้องภายใต้สภาวะไดนามิก ผลปรากฏว่าปริมาตรการระบายอากาศของห้องคลีนรูมเกรด 100,000 ≥10 ครั้ง/ชม., เกรด 10,000 ≥20 ครั้ง/ชม. และเกรด 1,000 ≥50 ครั้ง/ชม. สามารถตอบสนองความต้องการได้ มาตรฐานของรัฐบาลกลางสหรัฐอเมริกา (FS2O9A~B) กำหนดว่าห้องคลีนรูมที่มีการไหลแบบไม่ทิศทางเดียว (เกรด 100,000, 10,000) ที่มีความสูงห้อง 8~12 ฟุต (2.44~3.66 ม.) มักจะพิจารณาห้องทั้งหมดอย่างน้อยหนึ่งครั้งทุก 3 นาที (นั่นคือ 20 ครั้ง/ชม.) ดังนั้น ข้อกำหนดของข้อกำหนดการออกแบบ [6] จึงได้คำนึงถึงค่าสัมประสิทธิ์การระบายอากาศที่สูงกว่า และผู้ออกแบบสามารถเลือกค่าปริมาตรการระบายอากาศที่แนะนำได้อย่างปลอดภัย