ค่าเป้าหมายของความชื้นสัมพัทธ์ในห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ (FAB) อยู่ที่ประมาณ 30 ถึง 50% ซึ่งอนุญาตให้มีขอบเขตข้อผิดพลาดแคบที่ ±1% เช่นเดียวกับในโซนลิโธกราฟี หรือแม้กระทั่งน้อยกว่านั้นในโซนการประมวลผลอัลตราไวโอเลตระยะไกล (DUV) ในขณะที่ที่อื่นๆ สามารถผ่อนคลายลงเหลือ ±5% ได้
เนื่องจากความชื้นสัมพัทธ์มีปัจจัยหลายประการที่สามารถลดประสิทธิภาพโดยรวมของห้องคลีนรูมได้ เช่น:
1. การเจริญเติบโตของแบคทีเรีย;
2. ช่วงอุณหภูมิห้องที่สบายสำหรับพนักงาน
3.เกิดประจุไฟฟ้าสถิตย์
4. การกัดกร่อนของโลหะ
5. การควบแน่นของไอน้ำ
6. การเสื่อมสภาพของการพิมพ์หิน
7. การดูดซึมน้ำ
แบคทีเรียและสารปนเปื้อนทางชีวภาพอื่นๆ (เชื้อรา ไวรัส รา และไร) สามารถเจริญเติบโตได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสัมพัทธ์มากกว่า 60% ชุมชนแบคทีเรียบางชนิดสามารถเจริญเติบโตได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสัมพัทธ์มากกว่า 30% บริษัทเชื่อว่าควรควบคุมความชื้นให้อยู่ในช่วง 40% ถึง 60% ซึ่งจะช่วยลดผลกระทบของแบคทีเรียและการติดเชื้อทางเดินหายใจ
ความชื้นสัมพัทธ์ในช่วง 40% ถึง 60% ถือเป็นระดับปานกลางสำหรับความสบายของมนุษย์ ความชื้นที่มากเกินไปอาจทำให้รู้สึกอึดอัด ในขณะที่ความชื้นต่ำกว่า 30% อาจทำให้ผิวแห้งแตก หายใจไม่สะดวก และรู้สึกไม่สบายใจ
ความชื้นสัมพัทธ์ที่สูงช่วยลดการสะสมของประจุไฟฟ้าสถิตบนพื้นผิวห้องคลีนรูม ซึ่งเป็นผลลัพธ์ที่ต้องการ ความชื้นสัมพัทธ์ต่ำเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสะสมประจุไฟฟ้าสถิตและอาจก่อให้เกิดการคายประจุไฟฟ้าสถิตที่เป็นอันตราย เมื่อความชื้นสัมพัทธ์สูงกว่า 50% ประจุไฟฟ้าสถิตจะเริ่มสลายตัวอย่างรวดเร็ว แต่เมื่อความชื้นสัมพัทธ์ต่ำกว่า 30% ประจุไฟฟ้าสถิตอาจคงอยู่เป็นเวลานานบนฉนวนหรือพื้นผิวที่ไม่ได้ต่อสายดิน
ความชื้นสัมพัทธ์ระหว่าง 35% ถึง 40% สามารถใช้เป็นค่าประนีประนอมที่น่าพอใจได้ และห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์มักใช้การควบคุมเพิ่มเติมเพื่อจำกัดการสะสมของประจุไฟฟ้าสถิต
ความเร็วของปฏิกิริยาเคมีหลายอย่าง รวมถึงกระบวนการกัดกร่อน จะเพิ่มขึ้นตามความชื้นสัมพัทธ์ที่เพิ่มขึ้น พื้นผิวทั้งหมดที่สัมผัสกับอากาศรอบห้องสะอาดจะเคลื่อนที่เร็ว
เวลาโพสต์: 15 มี.ค. 2567
บ้าน
สินค้า
ติดต่อเรา
ข่าว