
โซลูชันเซมิคอนดักเตอร์ BSLtech
การพัฒนาความเชี่ยวชาญของคุณในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มักต้องการห้องคลีนรูมหรือตู้ลามินาร์โฟลว์ที่มีค่า ISO สูง (ISO 5 หรือสูงกว่า) คุณกำลังจัดการกับกระบวนการที่ไวต่อรังสี UV อยู่หรือไม่? BSL ก็มีห้องคลีนรูมที่เหมาะสม ห้องคลีนรูมมีผนังคุณภาพสูงและมีระบบไฟส่องสว่างพร้อมฟิลเตอร์ UV การใช้วัสดุป้องกันไฟฟ้าสถิต (ESD) และแท่งป้องกันไฟฟ้าสถิตบนระบบฟิลเตอร์จะช่วยปรับสมดุลประจุไฟฟ้าสถิตในอากาศ
เมื่อไม่ต้องการการระบายก๊าซ BSL ขอเสนอห้องปลอดเชื้อสำหรับวัสดุที่ไม่ปล่อยก๊าซ (PU) เทคโนโลยีนี้มีต้นกำเนิดจากอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ
กระบวนการทั่วไปในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์:
● การปกป้องพื้นผิวและเวเฟอร์ซิลิกอน
● การวิจัย EUV
● อุปกรณ์จัดฟันแบบใส
● การเคลือบสูญญากาศ การสะสมฟิล์มบาง
● การใช้งานการพิมพ์
● ออปติกส์
กระบวนการด้านหน้าและด้านหลัง